MFC Contorller, Convection Gauge & Controller, lon Gauge & Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller
ATV3000 Smart Exhaust Pressure Controller
ATV3000 Exhaust Pressure Controller 는 진공 Chamber 의 압력을 조절하는데 사용된다.
또한 넓은 범위의 압력을 조절할 수 있도록 제작 되었다.
Controller 와 Valve 가 일체형으로 제작되어 추가적으로 Controller 를 사용하지 않아 원가 절감에 효과를 가질 수 있다.
Features & Benefits
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver 를 사용하여 Valve 의 Resolution 을 향샹 시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다.
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 High Torque Motor를 사용하기 때문에 Vacuum Line(예:12 inch) 이 Large Size Chamber 에서도 사용이 가능하다.
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve Body 는 150˚C 까지 Heating 을 하여도 사용이 가능하다. (Sealing Type 은 제외)
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Flapper 의 Position 을 User 가 외부에서도 확인이 가능하도록 FND로 표시하여, Valve 의 동작여부를 장비에서 탈,착 하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다.
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 고객이 원하는 대로 주문시 Flange Style 을 설정할 수 있다. (Flange Style : ISO-NW, ASA, CF, JIS , KF)
■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 외부에서 DC Power (+24VDC) 를 공급받아야 사용이 가능하다.
Specifications
Speed (open to close) | 1.5sec |
Resolution | 1/12000 |
Drive Method | Direct gear drive |
Maximum Valve Body Operating Temperature | Standard 0-100 Optional : 0 - 150 (Note 1) |
Valve Motor Ambient Operating Temperature | -20 to +40 |
Differential Pressure Across Valve | 1 atm. (15psig) max. |
External Leakage at Shaft seal | 1x10-8sec/sec He |
Materials Exposed to Process | Standard : 304 S.S., Viton (Note 2) Optional :316 S.S., Viton (Note 2) |
Visual Position Indicator | FND |
Drive Output Torque (with Model GPC3000 or MKS Type 651) | 800 in-oz |
Specifications
Speed (open to close) | 1.5sec |
Resolution | 1/24000 |
Drive Method | Direct gear drive |
Maximum Valve Body Operating Temperature | Standard 0-100 Optional : 0 - 150 (Note 1) |
Valve Motor Ambient Operating Temperature | -20 to +40 |
Differential Pressure Across Valve | 1 atm. (15psig) max. |
External Leakage at Shaft seal | 1x10-8sec/sec He |
Materials Exposed to Process | Standard : 304 S.S., Viton (Note 2) Optional :316 S.S., Viton (Note 2) |
Compatible Controller | Model GPC3000 MKS Type 651, 1651 |
Drive Output Torque (with Model GPC3000 or MKS Type 651) | 800 in-oz |