CARBOZEN™-FA(Filtered Cathodic Vacuum Arc) SERIES는 아크방전(Arc discharge)을 이용하여 음극부의 물질을 증발시켜 이를 표면에 증착시키는 코팅 장치입니다.
시스템 사양
챔버 크기 | Ø600×H600, Custom-made |
지그 시스템 | 2 fold or 3 fold |
작동 가스 | Mass flow control system Ar |
플라즈마 소스 | FCVA Source |
초기 진공도 | ~10-6Torr |
바이어스 전원 | Pulsed DC |
히터 | Max 250℃ |
장치운전 | 전자동 / 반자동 |
응용분야
마이크로 드릴, 엔드밀, 절삭공구, 컷팅류