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CARBOZEN™-LAB
모델명
-
시리즈
코팅시스템
자료
LAB SERIES
구매정보
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제이앤엘테크

DLC 코팅 제품 제조업체, DFC 코팅, 하드코팅, 박막 분석장비, 스크레치 테스터 등

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031-499-1005
이메일
jnltech@jnltech.co.kr
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제조사
제이앤엘테크[바로가기]
브랜드
-
SKU
55504
제품명
CARBOZEN™-LAB
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

CARBOZEN-LAB 시리즈는 프로토타입 생산, 연구소에 최적화된 소형 사이즈로 합리적인 가격에 Hard&Tribological, DLC, 메탈코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능한 Multi Coater입니다.

 

시스템 사양

챔버 크기 Ø500×H250mm
증착률 300mm per hour
캐소드 사이즈 Ø300 mm
플라즈마 소스 Linear ion source, UBM sputter, Cathodic arc

 

주요특징

• 개발예산에 맞춰 다양한 옵션 선택 가능 (선택옵션에 따라 가격 조절이 가능)
• 20년 동안 축적해온 양산 코팅 기술로 최적화된 솔루션 제공
• 코팅공정의 설계, 수정이 용이한 전자동 소프트웨어

 

스펙표

●=Standard / ●=Option

Components Full Option PECVD Sputtering Metal-ARC Specifications
Rotary pump 4~60 m3/h
Turbo pump 200~400 l/s
Throttl Valve     Blade type
Baratron Gauge     0.1~1torr
Pressure Controller     Automatic Control
Heater 400~500℃
1 Fold Turntable     3 Axis Rotation
2 Fold Turntable 3 Axis Rotation & Revolution
Sputter DC Power Supply     2KW DC
Ion Source DC Power Supply   10KW DC
Cathodic Arc Power Supply     5KW DC
Bias Power Supply 5KW 350khz
Cathode Power Supply     AC or RF
4 Inch Sputter Source     Unbalanced Magnetron Sputter
4 Inch Ion Source Closed drift Type
3 Inch Cathodic Arc Source     Direct cooling Type

제이앤엘테크
DLC 코팅 제품 제조업체, DFC 코팅, 하드코팅, 박막 분석장비, 스크레치 테스터 등
제이앤엘테크는 국내/외 고체 윤활 코팅 시장을 선도 해왔으며, 플라즈마 코팅 서비스에서 축적된 기술과 장비 제조 기술을 바탕으로 코팅 시스템은 물론 박막 분석장비 분야에서도 세계 최고의 기술력을 인정 받고 있는 플라즈마 코팅 전문기업입니다. 제이앤엘테크는 PECVD, Ion Plating, FCVA 등의 주요 코팅장비 제조 기술과 자체 개발한 박막분석 기술 및 3차원 코팅기술을 바탕으로 DLC, CrN, TiN, TiAlN 등의 고경도 코팅은 물론, 복합구조 기능성 코팅에 이르기까지 다양한 코팅 장비와 서비스를 안정적으로 제공 할 수 있는 체계를 갖추고 있습니다.  저희는 설립 초기부터 '부설 Plasma 연구소'를 중심으로 KIST, KIMM, KITECH 등 국내 유수 연구기관과의 공동 연구 개발 협력 체계를 구축하여 다양한 분야의 표면처리 코팅 기술을 연구 개발하여 왔습니다. 이를 바탕으로 플라즈마 코팅 시스템과 프로세스를 구축해 드리는 동시에 관련 엔지니어링을 위한 Total Solution을 제공하고 있습니다. 저희가 자체 개발한 플라즈마 코팅 장비군과 박막 R&D를 위한 물성 측정 장비는 대학, 연구소, 기업 등에서 신뢰성을 인정 받아 널리 사용되고 있으며 일본, 중국, 대만, 말레이시아, 인도 등지에 수출되고 있습니다.
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