MDA-400S(Mask Aligner) 는 합리적인 가격대 제품군으로 PC / PLC 제어방식의 레벨링 시스템이 적용된 마스크 얼라이너로써, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하고, 작은 사이즈에 방진메커니즘이 기본 장착 되어 있으며, 주로 학교, 연구소 용으로 적합합니다.
사양
Type | PC / PLC control Manual (Mask Aligner) |
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Mask size | up to 7" x 7" |
Substrate size | piece to 6" |
UV lamp & Power | 350W & power supply |
Uniform beam size | 6.25" x 6.25" |
Beam Uniformity | <±5% |
Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
365nm Intensity | ~25mW/cm2 |
Alignment accuracy | 1um |
Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
Substrate chuck moving | x,y,z & θ |
Options | Anti-Vibration table |
IR BSA | |
UV Intensity meter | |
etc. |