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Mask Aligner
모델명
MDA-600S
시리즈
-
자료
-
구매정보
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마이다스시스템

마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체

연락처
042-936-7620
이메일
peter@aligner.co.kr
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제조사
마이다스시스템[바로가기]
브랜드
-
SKU
82200
제품명
Mask Aligner
모델명
MDA-600S
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

MDA-600S(Mask Aligner) 는 Z- axis 모션이 모터로 동작하는 반자동 장비 중 가장 컴팩트하고 가격이 경제적 이며, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능합니다.
콤팩트한 장비 사이즈에 방진메커니즘이 기본장착 되어있어, 주로 학교 ,연구소 및 기업체의 준 양산 용으로 적합합니다.

사양

Type PC control semi auto
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6"
UV lamp & Power 350W & power supply
Uniform beam size 6.25" x 6.25"
Beam Uniformity <±4%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~25mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 0.8um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options Anti-Vibration table
CCD BSA
UV Intensity meter
UV-LED(365nm) exposure module
etc.
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마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체
마이다스시스템은 반도체, MEMS, 바이오 소자, 나노기술 관련 연구소 또는 기업체에서 필요한 마스크 정렬 노광장치 (Mask Aligner)와 스핀코터(Spin Coater) 장비를 개발 생산하고있습니다. Wafer용 Mask Aligner의 경우 국내 최초로 개발 상품화 하였으며, 현재 지속적으로 개발 보완하여 기술중심 기업으로서의 기반을 더욱 강화하고 있습니다. 또한 다양한 분야에 응용이 가능하여 현재 반도체 연구 및 생산, MEMS공정연구 및 MEMS응용 상품생산, 바이오칩연구 및 나노기술의 연구분야에 적용되어 폭 넓게 활용되고 있습니다. 고객의 응용분야에 적합한 맞춤식 제품 제공 마이다스시스템은 국내의 기업 및 연구소 수요를 위해 응용분야에 적합한 맞춤식 설계에 의해 마스크 정렬 노광장치를 생산 공급하고 있으며, 고객의 편의를 위해 반도체 공정에 필요한 관련기기도 공급하고 있습니다.
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