MDA-150(Mask Aligner) 은 사용자의 용도에 따라 여러 가지 타입의 장비를 선택할 수 있는 맞춤 제작이 가능한 특징을 가지고 있는 마스크 얼라이너로, 조각부터 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하여, 주로 학교 연구실 및 연구소 또는 기업체의 준 양산 까지 포괄적인 사용이 가능합니다.
사양
Type | Manual (Mask Aligner) |
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Mask size | up to 7" x 7" |
Substrate size | piece to 6" |
UV lamp & Power | 500W, 1kW & Digital power supply |
Uniform beam size | 6.25" x 6.25 |
Beam Uniformity | <±5% |
Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
365nm Intensity | ~50mW/cm2 |
Alignment accuracy | 1um |
Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
Substrate chuck moving | x,y,z & θ (motorized) |
Options | CCD BSA |