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Twin Body Type
모델명
V70 Series
시리즈
Rectangular Gate Valves
자료
RECTANGULAR GATE VALVE
구매정보
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프리시스

반도체 장비 제조업체, 반도체, 소프트웨어, 밸브, 신재생 에너지 등

연락처
031-8003-1133
이메일
jw.jee@presys.kr
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제조사
프리시스[바로가기]
브랜드
-
SKU
60326
제품명
Twin Body Type
모델명
V70 Series
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

Application 
- Plasma Etch, CVD, Sputter Deposition
- Manufacturing of solar panels
- Semiconductor processing
- LCD/frat panel precess
- All other cluster vacuum systems 
 
Features 
- Removable valve housing cover
- Semi standard application (Semi E21-94, Semi E24-92, Semi- E21.1-1296)
- Patented L-motion link and dual shifts without springs in the actuator enable faster, smoother actuation with signifi-cantly reduced vibration
- Mechanical locking so at the end of gate travel the valve locks into position
- Welded bellows actuator seal
- Bonnet flange bolts are designed with retainers to eliminate bolts from falling out upon disassembly 
 
Options 
- Custom sizes available
- Various o-ring compounds (Kalrez®, Chemraz®, etc.) 
 

PRESYS Twin Body Type V70 Series



Pressure range

1 x 10-9 mbar to 1.2 bar

Leak rate : body, seat

< 1 x 10-9 mbar.ℓ/s

Differential pressure on the gate

 ≤ 1.2 bar in either direction

Material

Valve body, Bonnet, Gate

AL6061

Welded bellows

AM350

Valve actuator

SS304, AL6061

Seal Materials

FKM(VITON)

Temperature

Valve body

120℃

Valve actuator

80℃

Operation

Double acting

Cycle until first service

2 million

Position sensor

SAIA (XCG3W-T1)



프리시스
반도체 장비 제조업체, 반도체, 소프트웨어, 밸브, 신재생 에너지 등
첨단 반도체 산업에 지속적으로 요구되는 핵심 기초 기술 분야를 토대로 끊임없이 연구개발해 온 프리시스(주) 기술진들은 New Millennium 고객의 기대에 부응하기 위해 'Need Company'로서의 사명감을 가지고 반도체 핵심분야인 고진공 장치 및 SYSTEM과 녹색 성장 기술을 기반으로 하는 신개념을 창출해 왔습니다. 이러한 기반기술을 바탕으로 당사는 세계 반도체 소자 및 FPD 제조 1위국에 걸맞은 장비업체로 거듭나기 위해 신개념의 제조 공정용 장비를 개발 제작하게 되었습니다. 또한 신성장동력 확충에도 최선의 노력을 다하고 있습니다. 프리시스(주)는 그 동안의 축적된 Know-how와 Innovative Venture 기상을 결집하여, 현실 고객 지원에 만족하지 않고, 차세대 World Best를 현실화하는 일류 기술 보유 기업으로 성장하는 날까지 연구개발 부문에 끊임없는 투자를 아끼지 않을 것을 약속드립니다. 항상 곁에서 지켜봐주시는 여러 고객분들과 관계회사에 진심으로 감사의 말씀을 전하며, 지속적인 성원을 부탁드립니다.
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