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프리시스
제품 상세 정보
Application
- Etch
- CVD (Mo, LP, HDP, PE)
- Sputter
- R.T.P
- LCD, PDP Systems
- Other Vacuum System
Features
- 2Step(soft & fast) pumping
- Pneumatic Actuator
- Fast valve welded bellows (AM350)
- Easy to service
Options
- Various o-ring compounds (Kalrez®, Chemraz®, etc.)
- Bellows Material (SS316L , Inconel )
Pressure range | 1 x 10-7 mbar to 1.2 bar | |
Leak rate : body, seat | < 1 x 10-7 mbar.ℓ/s | |
Differential pressure on the gate | ≤ 1.2 bar in either direction | |
Material | Valve body, Bonnet, Gate | SS304 |
Welded bellows | SS316L | |
Valve actuator | AL6061, SS304 | |
Seal Materials | FKM(VITON) | |
Temperature | Valve body | 120℃ |
Valve actuator | 60℃ | |
Operation | Double acting | |
Cycle until first service | 100,000 | |
Position sensor | OMRON (D2F-01L3) | |
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반도체 장비 제조업체, 반도체, 소프트웨어, 밸브, 신재생 에너지 등
첨단 반도체 산업에 지속적으로 요구되는 핵심 기초 기술 분야를 토대로 끊임없이 연구개발해 온 프리시스(주) 기술진들은 New Millennium 고객의 기대에 부응하기 위해 'Need Company'로서의 사명감을 가지고 반도체 핵심분야인 고진공 장치 및 SYSTEM과 녹색 성장 기술을 기반으로 하는 신개념을 창출해 왔습니다.
이러한 기반기술을 바탕으로 당사는 세계 반도체 소자 및 FPD 제조 1위국에 걸맞은 장비업체로 거듭나기 위해 신개념의 제조 공정용 장비를 개발 제작하게 되었습니다. 또한 신성장동력 확충에도 최선의 노력을 다하고 있습니다. 프리시스(주)는 그 동안의 축적된 Know-how와 Innovative Venture 기상을 결집하여, 현실 고객 지원에 만족하지 않고, 차세대 World Best를 현실화하는 일류 기술 보유 기업으로 성장하는 날까지 연구개발 부문에 끊임없는 투자를 아끼지 않을 것을 약속드립니다.
항상 곁에서 지켜봐주시는 여러 고객분들과 관계회사에 진심으로 감사의 말씀을 전하며, 지속적인 성원을 부탁드립니다.