Overview
입사되는 white synchrotron beam으로 부터 단색광을 분광하는 장치 X-ray의 파장 변화에 따라 결정의 위치와 방향이 정확하게 변화해야 하므로 고정밀도의 motion stage 장착
Specifications
PART | ACTUATOR/MONITOR | RESOLUTION |
Bragg Angle | Goniometer | 0.07”(Min) |
Angle Encoder | 0.0024″ | |
Z | Actuator | 6㎛ Max 0.03nm Min |
Linear Encoder | 50nm | |
Roll(2nd crystal) | Pico-Motor | 0.018” |
LVDT | Calibration is necessary | |
Pitch(2nd crystal) | Pico-Motor | 0.013” |
LVDT | Calibration is necessary | |
Fine pitch | PZT | 0.3 nrad |