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제품설명
- 현미경형 광 단층 영상 장비.
- 단층 영상을 이용한 비파괴 3차원 영상화.
- 전동 3축 샘플 제어 스테이지.
제품사양
검사대상 |
필름, 디스플레이 패널, PCB 표면 등 근적외선광 투과성 평탄 샘플. |
검사기준 |
검사 대상 내부에 대한 광학적 성질 변화의 분석. |
검사항목 |
검사 대상체의 단층.
검사 대상체의 3차원 외관. |
광학 분해능(Axial) |
7 ㎛ |
광학 분해능(Lateral) |
> 15㎛ |
Scan영역 |
10 * 10 mm |
기본영상 해상도 |
500 * 521 (pixel) |
기본 영상 획득 속도 |
100 fps |
stage 이동거리 |
100 * 100 * 100 mm (X * Y * Z axis) |
X, Y, Z axis stage 구동방식 |
전동 |
Vision system |
1MP, 24Bit Color |
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