설명
국내 기술 선도업체인 (주)새론테크놀로지의 Top-Down 기술로 Desk-Top Mini SEM을 출시하였습니다. (2016 한국전자대전 기술혁신 제품 수상)
기술 및 인증
CE Ceriticates
TABLET MINI SEM AURA SERIES
전문가가 아닌 초보자 및 Macro 분야의 User들을 위하여 실용적으로 고안된 모델로써, 다양한 분야에서의 필요성을 적용하여 최적화시킨 제품입니다.
특징
1) 고객 사양의 실용적인 가격대를 지닌 Mini SEM
2) Free Beam Alignment 방식
3) 수차 감소 기술이 적용된 Optic Design 탑재 — 분해능 개선
4) Digital Zoom(2X, 4X, 8X) & High Pixel Resolution
5) Extreme Low kV Mode지원(SEM Image Obtain without Coating)
6) Slim한 Portable 사이즈 [388(W) X 600(D) X 638(H)]
7) 강력한 분석 Software 및 기하학적 형태의 측정 가능
8) Charge reduction Mode – 선택 사양
제품사양
GENERAL SPECIFICATIONS | |||
Resolution | 5nm@30kV (20kV Standard) | Accelerating Voltage | 0.2kV ~ 20kV (Option : 30kV) |
Magnification | 10X ~ 150,000X(Max.) (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) |
Detector | SE Detector / BSE Detector(Option) |
Stage Stroke | Stage : X,Y(40mm) / Z(5~40mm) (Tilt 0° ~ 45°, Rotation 360°) |
Frame Memory | Area Mode : [640X480] Inspection Mode : [960X640 ~ 2048X1536] Photo Mode : [2048X1536 ~ 8192X6144] |