COMPACT SEM AIS1800C
Tablet MINI SEM이 지니는 구조적 한계를 넘어선 세계 최고 성능의 Desk-Side Mini SEM
- LOW KV 영상 구현
- 수치감소기술 OPTIC
디자인으로 분해능 개선 - 최소의 설치 및 운용 공간으로 업무 효율 극대화
전자현미경, 전자빔용접기, 주사전자현미경(SEM), 전자빔, FE-SEM 전문 제조사
AIS1800C
(Scanning Electron Microscope)
설명 : Tablet MINI SEM이 지니는 구조적 한계를 넘어선 세계 최고 성능의 Mini SEM — Academic Version I (Compact화된 Desk-Side Mini SEM 입니다).
기술 및 인증 : CE Certificates
COMPACT SEM AIS1800C
Tablet MINI SEM이 지니는 구조적 한계를 넘어선 세계 최고 성능의 Desk-Side Mini SEM
특징
1) Low KeV(from 0.6kV) 영상 구현 – without Coating
2) Tablet SEM의 단점인 내부 진동, 발열, EMI등 문제점 해결
3) 세계 최상의 분해능을 지닌 Mini-SEM 구현
4) 최소의 설치 및 운용 공간 – 540(W) X 570(D) X 1300(H)mm³
5) 강력한 분석 S/W 및 다양한 측정 Tool 탑재
6) 수차감소기술 적용 – For better resolution
7) ET-Type SE Detector (SE/BSE 영상모드)
제품사양
ELECTRON OPTIC SYSTEM | |||
Resolution | 4nm@SE | Magnification | 10X ~ 200,000X(Max.) (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) |
Accelerating Voltage | 0.2kV ~ 20kV | Image Shift | 250μm (X,Y), Image Rotation (360°) |
Stage Motorization & Movement (X, Y, Z)mm | Standard : 5-Axis Manual Stage Option : 3-Axis[X, Y, R] Motorized Stage : 50/60/45 mm (Tilt 0° ~ 60°, Rotation 360°) |
Option | BSE, EDS, Cooling Stage 외 |