LaB₆ SEM
(PREMIUM NORMAL SEM)
설명 : AIS2500C는 LaB₆ Cathode가 장착되어 Tungsten hair-pin filament SEM의 분해능의 영역을 높여서 고배율에서의 표면영상 관찰에 유리하도록 고안된 장점을 지니고 있습니다. AIS2500C는 자화(磁化) 특성을 최소화하기 위한 Shielding 처리에 있어서, 특수 Alloy 재질인 mu-metal 소재를 적용하여 제 품의 내구성을 높였으며, 자체 설계된 60°Conical 대물렌즈는 짧은 Working Distance 에서도 대면적 시료를 폭넓게 이동하면서 고배율 및 고분해능의 영상의 관찰이 자유롭도록 고안되었습니다. 또한, EDS및 WDS 같은 다양 한 분석기기에서 요구하는 물리적 호환성을 만족시킬 수 있으므로 최상의 Resolving Power를 구현할 수 있는 장점을 지니고 있습니다.
기술 및 인증 : CE Certificates
특징
LaB₆ Tip과 60˚ Conical Lens가 장착된 국내 최상의 Resolving Power를 갖춘 Premium급 Normal SEM.
1) 60°Conical Lens 적용 (대면적 시료 관찰 가능)
2) 고분해능 및 고해상도 영상구현 (High Pixel Resolution)
3) 초고속 주사처리 방식의 제어구동 드라이버 장착
4) Multi Tasking Window 환경 구축
5) Auto-Stepping & Tiling에 의한 대용량 정보 저장 및 Filing 처리 가능
6) 강력한 이미지 프로세싱 기능, Analysis S/W 및 Measurement S/W 탑재
제품사양
| ELECTRON OPTIC SYSTEM | |||
| Electron Gun Source | LaB₆ Filament Cathode | Magnification | 10X ~ 300,000X |
| Resolution | 2.5nm@30keV SE/3nm@BSE | Vacuum | ~10-7 Torr with Ion Pump |
| Accelerating Voltage | 0.2kV ~ 30kV | Stage | 5-Axis Stage (Various Options) |
| Image ShiftImage Shift | 330 / 325μm(X/Y), Image Rotation(360°) | Option | IR CCD, BSE EDS, EBSD, WDS 외 |