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OHT System
모델명
OHT System
시리즈
물류자동화 장비
자료
-
구매정보
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세메스(주)

반도체 장비, 디스플레이 장비, 물류자동화 장비 제조업체

연락처
041-620-8000
이메일
kimyung.kim@samsung.com
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제조사
세메스(주)[바로가기]
브랜드
-
SKU
28963
제품명
OHT System
모델명
OHT System
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

개요

웨이퍼 보관용기의 자동 반송을 위한 물류 System

 

특징

- 물류간 최적경로 탐색 및 작업할당을 하는 OCS(OHT Control System)의 통제를 받아 공정/설비간 웨이퍼 보관용기를 자동 반송함
- 반송 대상
  . FAB : FOUP, FOSB, Reticle
  . Backend : Cassette, Magazine, Tray
- Velocity
  . 직선 / 곡선 : 3.3 / 1.0㎧
  . 가속 / 감속 : 2.5㎨ / 3.5㎨
- 분기/합류 방식 : Vehicle self switching
- Power Supply : CPS-Contact less Power Supply (이중화)
- 반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter

세메스(주)
반도체 장비, 디스플레이 장비, 물류자동화 장비 제조업체
올해로 창립 22주년을 맞은 세메스는 이제 명실상부한 대한민국 최고의 반도체 및 디스플레이 제조 장비업체로 성장하였습니다. 지난 93년 불모지와 다름없었던 국내 반도체 장비산업의 육성을 위해 설립된 세메스는 반도체 기반기술 확보 및 전(前)공정 핵심장비 개발을 통해 오늘날 세계 유수의 글로벌 장비업체와 세계를 무대로 경쟁하고 있습니다. 이제 독자기술로 개발한 차별화된 제품과 제조경쟁력을 바탕으로 국내 최초로 세계 장비업계 톱 5 진입을 목표로 하고 있습니다. 또한, 기업경영의 공정성과 투명성을 바탕으로 "준법경영"의 기업문화를 회사 전반에 정착시키기 위해 지속적으로 노력하고 있습니다. 오늘이 있기까지 변함없는 성원과 관심을 가져주신 모든 분들께 다시 한 번 감사의 말씀을 드리며, 앞으로도 세메스 전 임직원은 고객의 제조경쟁력 향상을 위해 최고의 품질과 서비스로 보답하겠습니다.
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