MFC Contorller, Convection Gauge & Controller, lon Gauge & Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller
GMC220 Power Supply & Read out Unit
GMC220은 MFC에 Power를 공급하고, 실제 MFC를 통해 흐르고 있다. Flow 양을 Analog Signal로 받아들여 Digital값으로 Display하며 User가 원하는 Set Point 값을 Front Panel에서 Setting하며 Button Switch를 사용해서 Flow양을 확인할 수 있도록 Design 되었다. 또한 각 채널에 연결된 MFC에 다른 종류의 Gas를 사용할 경우 Correction Factor를 맞추어 사용할수 있다.
Features & Benefits
■ 2Channel 용의 작은 Size로 공간 확보가 용이.
■ 12bit의 Bipoalr A/D Converter 사용 (± Voltage Display 가능)
■ 70-Segment LED 채택으로 멀리서도 판독 가능.
■ Analog Volume을 이용하여 유량을 조절하는 방식.
■ 외부 Set Point 및 Flow On / Off 명령 가능
Dimensions
Specifications
Physical | |
Width | 241mm |
Height | 88mm |
Depth | 120mm |
Weight | Approx. 1kg |
Electrical | |
Input Power | 98 ~ 265VAC @ 50/60 Hz |
Fuse rating | 250VAC@3A |
Output Power | +/-15VDC ±5% @1.2A |
Operating Temperature | 0 ~ 50°c |
Input Signal | 0 ~ 5,000 VDC |
Output Command Signal | 0 ~ 5,000 VDC |
Display Window | 7-segment LED |
Interface | Ext. set-point, TTL flow On/Off |