MFC Contorller, Convection Gauge & Controller, lon Gauge & Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller
EG301 Enhanced Convection Gague
일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber 내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, +24 VDC(15 VDC 가능)의 파워를 필요로 하고
3~10 VDC 시그널의 출력을 가지는 EG301 Enhanced Convection Gauge 는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용 됩니다.
Features & Benefits
■ 넓은 범위의 압력층정 가능(2.0 X 10-4 to 760 Torr).
■ 높은 정확도 및 설치 공간의 효율성 증대.
■ Analog Output 제공하여 PLC 및 기타 장치에 직접 연결하여 Display 가능.
■ 7-segment LED 채택으로 인해 멀리서도 판독 가능.
■ RS-485 를 이용하여 PC 제어 가능.
■ 외부기기 및 공정에 사용할 수 있도록 2개의 Set-Point 제공.
■ 저비용(Sensor Wire 교체) 로 수리 가능.
■ Controller 가 필요 없이 단독으로 사용 가능.
Dimensions
Specifications
Physical | |
Input Power | +24 VDC (15 VDC 가능) |
Output Power | +3 VDC to 10 VDC |
Operating Temperature | 0 ~ 50°c |
Pressure Range | 2.0 X 10-4 ~ 760 Torr |
Display Window | 7-segment LED |
Display Unit | Torr |
Mounting Position | Horizontal |
Filament | Platinum 99.999 % |
Flanges | NW16 ISO-KF , NW25 ISO-KF, 1/4 VCR Female, CF Flange |
Interface | Analog Output, RS-485 , 2 Set-Point |
