Semi conductor equipment manufacturer, Central monitoring system, Semi conductor process equipment, Multimedia equipment and more
300mm Auto Visual Inspection System은 Source Cassette 내의 Wafer 외관 상태를 검사하여 Wafer의 검사 결과에 따라 Target Cassette의 해당 위치로 분류하는 장비입니다.
Specification
- Wafer의 Front Side, Back Side, Edge의 외관상태를 검사할 수 있도록 Flexible하게 설계
- 사용자의 편리성을 도모하기 위하여 조명의 위치, Inspection Stage의 각도 및 위치를 Case별 설정하여 사용할 수 있도록 설계
- Stage의 용도를 사용자가 임의로 설정하여 사용할 수 있도록 설계
- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM