Semi conductor equipment manufacturer, Central monitoring system, Semi conductor process equipment, Multimedia equipment and more
LCD공정 전반에 걸쳐 Panel을 Cassette에서 LCD Panel을 공정 장비로 Loading하거나, Cassette로 Unloading 하기 위한 설비입니다.
Specification
- Single Arm Robot Double Arm Robot 적용
- Cassette를 AGV 또는 MGV로 적치 가능한 2식 또는 4식의 Cassette Stage
- 기판 Search 기능(Glass Mapping Device or Elevator)
- 비접촉식 Alignment 기능(Mechaless alignment)
- Bar Code or RFID Reader
- AGV Communication
- Ionizing System
- FFU(Fan Filter Unit)