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EMI shield Vacuum Laminator
모델명
시리즈
반도체장비 및 부품
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제품 상세 설명
EMI Shield Vacuum Laminator
EMI 차폐용 Tape Lamination을 기존 Ball 도피 방식에서 Vacuum Lamination 방식으로 개발하여 공정 개선함.
EMI Shield Vacuum Laminator
| List | SPECIFICATIONS | |
|---|---|---|
| Type | EMI 차폐 SPRAY 용 VACUUM LAMINATOR | |
| Application |
MOUNTING 된 CHOP의 BUMP를 진공 상태에서 DIAPHRAGM을 팽창시켜 VOID없이 BUMP에 TAPE을 LAMINATION |
|
| Machine size | 21265[W] X 970[D] X 2020[H] | |
| Material |
380 X 380 RING FRAME |
|
| UPH[Unit Per Hour] | 약 60 FRAME/Hr | |
| Purity | Class 1000 | |
| Loading / Unloading | Conveyor 적용으로 Inline 가능 | |
| Vacuum | 1 Torr 이내 | |
| DIAPHRAGM PRESS | Max. 0.12 Mpa | |
| DIAPHRAGM HEATING | 약 120 도 | |
| WORK MOVING TYPE | 진공 이젝터를 이용한 PICK & PLACE 방식 적용 | |
| 제어 방식 | PLC 제어 | |
| POWER SUPPLY | 3PHASE 220V, 60HZ, 50A이상 | |
| AIR | 0.5 ~ 0.6 Mpa,ø10 | |
| PCW | 진공 펌프용 | |