(주)대성엔지니어링
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FPD 제조장비 모듈 제조
모델명
시리즈
FPD장비 및 부품
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제품 상세 설명
FPD 제조장비 모듈 제조
고객 맞춤형 TFT 제조 공정 장비(Deposition/Etch) 모듈을 개발, 생산한다.
For TFT Line
- TFT-PECVD Module Line System
- TFT-Sputter Module Line System
- TFT-Dry Etch Module Line System
Clean Conveyor System
- Magnetic Conveyor
- Diverter / Turning Device
- Centering / Turning Tilting Device
- Shuttle Worth Clean Conveyor
- Clean Line for Wafer / FPD Series