(주)대성엔지니어링
1/1
Stocker
모델명
시리즈
FA설비 및 시스템 개발
구매 안내
아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
결제 방법
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
납기 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
배송 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
원산지
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
제품 상세 설명
Stocker
반도체 제조공정에 사용되는 각종 Carrier(POD, FOUP, Cassette, M/Z)를 운송, 저장 및 Sorting기능을 하는 자동 입출고 창고 시스템 (ASRS: Automated Storage & Retrieval System) 이다.
설비 형태
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 반송물 | FOUP / FOSB Magazine Cassette JEDEC Tray |
| Tact Time | Avg. 18 sec 이내 |
| Total Accuracy | ±0.5mm |
| Robot 구조 | 4 Axes Servo System |
| Teaching Method | Auto Teaching |
| 제어 방식 | PC 제어 |
| 상위 통신 | SECS/GEM |
| 공급 전원 | AC220V 3상, 단상UPS |
| 청정도 | 1,000 Class |