반도체 장비 전문업체, 우주항공장비, 부품, 측정기현황, UV 경화기, 램프 제조
Stocker
반도체 제조공정에 사용되는 각종 Carrier(POD, FOUP, Cassette, M/Z)를 운송, 저장 및 Sorting기능을 하는 자동 입출고 창고 시스템 (ASRS: Automated Storage & Retrieval System) 이다.
설비 형태
구분 | 사양 |
---|---|
반송물 | FOUP / FOSB Magazine Cassette JEDEC Tray |
Tact Time | Avg. 18 sec 이내 |
Total Accuracy | ±0.5mm |
Robot 구조 | 4 Axes Servo System |
Teaching Method | Auto Teaching |
제어 방식 | PC 제어 |
상위 통신 | SECS/GEM |
공급 전원 | AC220V 3상, 단상UPS |
청정도 | 1,000 Class |