Description
- Stroke : 2,715mm×2,630mm
- Acceleration : 4m/sec²
- Velocity : 1.6m/sec
- Settling Time : 250msec / ±0.5㎛
- Payload : 230kg
Specification
축 |
X₁,X₂ |
Y₁,Y₂ |
작업영역 |
2,600mm |
2,300mm |
가이드 |
LM 베어링 |
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부하질량 |
215kg(Head) |
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속도 |
1.6m/sec |
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가속도 |
4m/sec² |
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위치정밀도(보정후) |
10㎛ |
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반복정밀도 |
±1㎛ |
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옵션사양 | ||
응용분야 |
레이저 리페어 장비 외 |