Description
- Dimension : 3,800mm×4,300mm
- Stroke : 2,510mm×2,590mm
- Repeatability : ±1㎛
Specification
축 |
X₁~ X₃ |
Y₁~ Y₄ |
작업영역 |
2,600mm |
2,600mm |
가이드 |
LM 베어링 |
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부하질량 |
30kg(Head) |
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속도 |
500mm/sec |
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가속도 |
1m/sec² |
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위치정밀도(보정후) |
8㎛ |
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반복정밀도 |
±1㎛ |
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옵션사양 | ||
응용분야 |
LCD Auto Prober 장비 외 |